中西nakanishi气浮主轴ABT-1600，半导体制造精加工

中西Nakanishi气浮主轴ABT-1600是一款高性能的气动主轴，以下是对其的详细介绍：

一、产品概述

中西Nakanishi气浮主轴ABT-1600，又称为空气轴承涡轮主轴，以其高速运转、高精度加工和免维护等特点，在制造业中得到了广泛应用。该主轴通过空气压力使主轴在悬浮无接触状态下旋转，减少了机械摩擦和振动，进一步提高了加工精度。

二、主要特点

高速运转：ABT-1600气浮主轴的转速高达160,000转/分钟，这使得它能够在短时间内完成大量的加工任务，提高生产效率。

高精度加工：主轴跳动精度在1μm以内，对于半导体晶圆这种对表面光洁度和尺寸精度要求极高的工件来说至关重要。高精度的主轴能够确保在加工过程中工件表面的均匀性和一致性，减少表面缺陷和误差。

免维护：由于空气轴承涡轮主轴的润滑介质是空气，因此无需定期更换润滑油，减少了维护成本和维护周期。

噪音低：空气轴承涡轮主轴的非接触式轴承结构可以避免机械轴承因摩擦产生的噪音，从而实现了噪音更低的加工环境。

负载能力强：空气轴承涡轮主轴采用非接触式轴承结构，可以避免传统机械轴承因负载过大导致的轴承磨损和失效，因此负载能力更强。

环保节能：空气轴承涡轮主轴的润滑介质为空气，无需使用润滑油，从而减少了环境污染和能源消耗。

三、产品参数

类型：气动主轴

最高转速：160,000转/分钟

主轴跳动精度：1μm以内

最大输出：63W

夹头：CHA组（φ0.5~4.0mm）

重量：570g（或0.07kg，不同来源数据有差异，但均表示该主轴重量较轻）

轴承气压：0.5MPa（空气消耗量：35/min）

涡轮空气压力：0.5MPa（空气消耗量：150/min）

轴承许用载荷能力：径向10N或更小，推力20N或更小

四、应用领域

ABT-1600气浮主轴适用于对加工精度要求较高、加工速度要求较快、对表面质量要求较高的工件加工。具体应用领域包括但不限于：

半导体制造：在半导体晶圆研磨中展现出了卓越的性能，能够确保晶圆表面的均匀性和一致性，减少表面缺陷和误差。

精密机械加工：可用于高光、铣槽、铣削等多种加工任务，提高加工精度和生产效率。

模具制造：在模具的精密加工中，ABT-1600气浮主轴能够提供稳定、精确的切削性能，确保模具的精度和寿命。

五、注意事项

刀具选择：ABT-1600气浮主轴适用于小直径刀具的夹持，夹持范围为φ0.5~4.0mm。在选择刀具时，需确保刀具柄径符合主轴的夹持范围。

供气要求：空气轴承主轴需要清洁干燥的空气。在供气时，需确保气压稳定且空气干燥无杂质。

转速与悬伸范围：在使用时，需根据加工需求选择合适的转速，并确保带轴的磨石和工具安装在规定的悬伸范围内。如果工具的总长度超过规定范围，需在使用前进行切割。

综上所述，中西Nakanishi气浮主轴ABT-1600以其高速运转、高精度加工和免维护等特点，在制造业中发挥着重要作用。在选择和使用时，需充分了解其性能参数和应用领域，并根据实际需求进行合理的配置和操作。